Auto 色新型相調(diào)制橢圓偏振光譜儀

概要

Auto 色是一種新型的按鍵式全自動薄膜測量分析工具，簡單的幾個(gè)按鍵操作，即可完成全自動測量和分析。

幾秒鐘可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊特性報(bào)告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。

Auto 色 是一種高性能系統(tǒng)，它包括XYZ自動樣品臺、測量點(diǎn)實(shí)時(shí)成像和光斑尺寸自動選擇功能，其各種各樣的附件可滿足用戶對多種應(yīng)用的需求。

Auto 色借助完整的操作向?qū)В詣訖z測并診斷問題、同時(shí)提供完整的操作指南，實(shí)現(xiàn)對故障進(jìn)行輕松處理。

便捷的操作性能和大量自動化特性，使得 Auto 色 成為一種可用于常規(guī)薄膜測量和質(zhì)量控制的設(shè)備。

特征

• 薄膜分析變得輕松簡單
• 高性能系統(tǒng)
• *的光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)）
• 多種附件選擇
• 智能診斷

Auto 色的可視化系統(tǒng)

Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)），該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中。

MyAutoView允許操作者全程觀測樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在*正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測量。

Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場和10微米的分辨率,這對于大多數(shù)測量來說是非常必要的。

技術(shù)參數(shù)：

光譜范圍：440-858nm 

光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm 

測試時(shí)間：通常為5秒，可小于1秒
 
準(zhǔn)確度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004 

觀測樣品： CCD-視場范圍1.33*1mm，分辨率1µm 

重復(fù)性：± 0.2 Å  （測試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）

樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié)；真空檢測；Z軸高度50mm 

探測器：CCD-分辨率：2nm

測角儀：固定在70度，可預(yù)設(shè)為66度或者61.5度